金融界2025年8月4日消息，国家知识产权局信息显示，长鑫新桥存储技术有限公司申请一项名为“采用超临界介质的干燥机以及干燥方法”的专利，公开号CN120413477A，申请日期为2025年04月干燥机 。
专利摘要显示，本公开实施例涉及半导体领域，提供一种采用超临界介质的干燥机以及干燥方法，干燥机包括：箱体，箱体内具有腔室；基台，基台位于腔室内，基台用于承载晶圆；第一储存罐以及第二储存罐；第一管路以及第二管路，第二管路包括调节阀，调节阀位于箱体的外部，并通过第二管路的管道与腔室贯通，调节阀用于以第一流速向腔室内注入超临界流体、以第二流速以及第三流速向腔室内继续注入超临界流体；其中，调节阀包括：并联的第一阀门以及第二阀门，第一阀门用于以第一流速向腔室内注入超临界流体，第二阀门用于以第二流速以及第二流速向腔室内继续注入超临界流体，第一阀门的第一管径小于第二阀门的第二管径干燥机 。
天眼查资料显示，长鑫新桥存储技术有限公司，成立于2021年，位于合肥市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业干燥机 。企业注册资本5395371.51069万人民币。通过天眼查大数据分析，长鑫新桥存储技术有限公司参与招投标项目143次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可25个。
来源：金融界